

Kwa sasa, AWL mfululizo wafer handler ina AWL046, AWL068 mifano miwili, inaweza kutumika kwa ajili ya 4/6 inchi wafer kuchunguza, 6/8 inchi wafer kuchunguza, kubadilisha mbalimbali yake, na pamoja na kubadilika, bure kuweka mtindo wa ukaguzi, kikamilifu kufanana na uhandisi wa uhandisi, uendeshaji starehe, rahisi.
AWL mfululizoFaida ya mfumo wa ukaguzi wa wafer
Uchunguzi wa 360 ° macro

AWL mfululizo wafer ukaguzi mfumo ina mkono macro ukaguzi, inaweza kufikia 360 ° mzunguko wa upimaji macro ya kristali, upimaji macro ya kristali nyuma 1, ni rahisi zaidi kugundua majeraha na vumbi ndogo. Kupitia vifaa vya uendeshaji unaweza kuchunguza vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa. Surface inclination angle ≤ 70 °, kristali nyuma 1 inclination angle ≤ 90 °, kristali nyuma 2 inclination angle ≤ 160 °, kutumia kazi ya mzunguko, inclination angle, kabisa inaweza kuona ukaguzi mzima wa vifaa chanya na kinyume na makao.
● Uhandisi wa binadamu

Wafer ukaguzi mfumo LCD kuonyesha, inaweza kutoa operator zaidi intuitive uzoefu wa kuona, inaweza kuonyesha wazi sasa ukaguzi vitu na utaratibu, debugging vigezo wazi kwa mtazamo mmoja.
Mfumo wa ukaguzi wa wafer unaweza kuongeza starehe ya waendeshaji na ufanisi wa kazi.
Wafer kasoro ukaguzi matumizi kesi


AWL mfululizoVipimo vya kiufundi vya mfumo wa ukaguzi wa wafer
Mfano |
AWL046 |
AWL068 |
|
Ukubwa wa wafer (vipimo vya SEMI) |
150mm/125mm/100mm |
200mm/150mm |
|
Unene wa chini wa wafer |
150μm |
180μm |
|
aina |
Sanduku la wazi (SEMI Stad.25(26)-slot) |
||
Idadi ya sanduku |
1 Port |
||
Angalia mipangilio ya hali |
Kuchunguza kamili / Kuchunguza idadi ya kipekee / Kuchunguza idadi ya kipekee / Kuchagua manually |
||
Wafer Scanning ndani ya sanduku |
● |
● |
|
Wafer Prepositioning |
● |
● |
|
Wafer nafasi |
Wasio na kuwasiliana nafasi ya mraba / V aina nafasi, inasaidia 0 °, 90 °, 180 °, 270 ° kuelekea mipangilio |
||
Angalia kazi |
Uchunguzi wa Micro |
● |
● |
Uchunguzi wa macro wa kristali |
● |
● |
|
Crystal nyuma macro ukaguzi 1 |
● |
● |
|
Crystal nyuma macro ukaguzi 2 |
● |
● |
|
Kuhusisha Microscope |
SOPTOPMicroscope ya dhahabuMX68R |
||
Kituo cha magari |
6 inchi nne safu ya mitambo ya kuhamia jukwaa, chini ya mkono X, Y mwelekeo coaxial kurekebisha; Wafer bearing meza, inaweza 360 ° kuzunguka; Kusafiri 228mm (X mwelekeo) × 170mm (Y mwelekeo) Uchunguzi mbalimbali: |
8 inchi nne safu ya mitambo ya kuhamia jukwaa, chini ya mkono X, Y mwelekeo coaxial kurekebisha; Wafer bearing meza, inaweza 360 ° kuzunguka, kuhamia safari 280mm (X mwelekeo) × 210mm (Y mwelekeo) kuangalia mbalimbali: |
|
umeme |
1P/220V/16A |
||
Chanzo cha utupu |
—70KPA |
||
