Suzhou Viwanda Park Huiguang Teknolojia Co, Ltd
Nyumbani>Product>AWL mfululizo wafer ukaguzi mfumo
Taarifa za mpira
  • Kiwango cha Usafiri
    Mchama wa VIP
  • Mawasiliano
  • Simu
    18962209715,15371862102
  • Anwani
    Hifadhi ya Viwanda ya Suzhou, 88 West Avenue ya Zhongxin
Mawasiliano na sasa
AWL mfululizo wafer ukaguzi mfumo
AWL mfululizo wafer ukaguzi mfumo ni wote utulivu na usalama, uwezo wa usalama na kuaminika usafirishaji wafer, inafaa kwa ukaguzi wafer katika kazi y
Tafsiri za uzalishaji

AWL 系列晶圆检查系统

AWL 系列晶圆检查系统的显微镜


Kwa sasa, AWL mfululizo wafer handler ina AWL046, AWL068 mifano miwili, inaweza kutumika kwa ajili ya 4/6 inchi wafer kuchunguza, 6/8 inchi wafer kuchunguza, kubadilisha mbalimbali yake, na pamoja na kubadilika, bure kuweka mtindo wa ukaguzi, kikamilifu kufanana na uhandisi wa uhandisi, uendeshaji starehe, rahisi.

AWL mfululizoFaida ya mfumo wa ukaguzi wa wafer

Uchunguzi wa 360 ° macro

360°宏观检查

AWL mfululizo wafer ukaguzi mfumo ina mkono macro ukaguzi, inaweza kufikia 360 ° mzunguko wa upimaji macro ya kristali, upimaji macro ya kristali nyuma 1, ni rahisi zaidi kugundua majeraha na vumbi ndogo. Kupitia vifaa vya uendeshaji unaweza kuchunguza vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa vya vifaa. Surface inclination angle ≤ 70 °, kristali nyuma 1 inclination angle ≤ 90 °, kristali nyuma 2 inclination angle ≤ 160 °, kutumia kazi ya mzunguko, inclination angle, kabisa inaweza kuona ukaguzi mzima wa vifaa chanya na kinyume na makao.

● Uhandisi wa binadamu

晶圆检查系统的LCD显示屏

Wafer ukaguzi mfumo LCD kuonyesha, inaweza kutoa operator zaidi intuitive uzoefu wa kuona, inaweza kuonyesha wazi sasa ukaguzi vitu na utaratibu, debugging vigezo wazi kwa mtazamo mmoja.

Mfumo wa ukaguzi wa wafer unaweza kuongeza starehe ya waendeshaji na ufanisi wa kazi.

Wafer kasoro ukaguzi matumizi kesi

晶圆缺陷检查

晶圆缺陷检查

AWL mfululizoVipimo vya kiufundi vya mfumo wa ukaguzi wa wafer

Mfano

AWL046

AWL068

Ukubwa wa wafer (vipimo vya SEMI)

150mm/125mm/100mm

200mm/150mm

Unene wa chini wa wafer

150μm

180μm

aina

Sanduku la wazi (SEMI Stad.25(26)-slot)

Idadi ya sanduku

1 Port

Angalia mipangilio ya hali

Kuchunguza kamili / Kuchunguza idadi ya kipekee / Kuchunguza idadi ya kipekee / Kuchagua manually

Wafer Scanning ndani ya sanduku

Wafer Prepositioning

Wafer nafasi

Wasio na kuwasiliana nafasi ya mraba / V aina nafasi, inasaidia 0 °, 90 °, 180 °, 270 ° kuelekea mipangilio

Angalia kazi

Uchunguzi wa Micro

Uchunguzi wa macro wa kristali

Crystal nyuma macro ukaguzi 1

Crystal nyuma macro ukaguzi 2

Kuhusisha Microscope

SOPTOPMicroscope ya dhahabuMX68R

Kituo cha magari

6 inchi nne safu ya mitambo ya kuhamia jukwaa, chini ya mkono X, Y mwelekeo coaxial kurekebisha; Wafer bearing meza, inaweza 360 ° kuzunguka; Kusafiri 228mm (X mwelekeo) × 170mm (Y mwelekeo) Uchunguzi mbalimbali:
170mmX170mm ; Na clutch kushughulikia, inaweza kutumika kwa haraka kuhamia katika safari kamili;

8 inchi nne safu ya mitambo ya kuhamia jukwaa, chini ya mkono X, Y mwelekeo coaxial kurekebisha; Wafer bearing meza, inaweza 360 ° kuzunguka, kuhamia safari 280mm (X mwelekeo) × 210mm (Y mwelekeo) kuangalia mbalimbali:
210mm×210mm ; Na clutch kushughulikia, inaweza kutumika kwa ajili ya haraka kuhamia katika safari yote;

umeme

1P/220V/16A

Chanzo cha utupu

—70KPA

Utafiti wa mtandaoni
  • Mawasiliano
  • Kampuni
  • Simu
  • Barua pepe
  • Chat
  • Kodi la Uchunguzi
  • Maudhui

Operesheni ya mafanikio!

Operesheni ya mafanikio!

Operesheni ya mafanikio!