Mfano: JXA-8230
wazalishaji: JEOL
Vifaa: Spectrometer (*3), Energy Spectrometer (*1)
Kipengele cha uchambuzi: B-U
azimio: 3nm

Uchunguzi wa elektroniki ni chombo ambacho hutumia mionzi ya X inayozalishwa baada ya sampuli ya athari ya mwanga wa elektroniki kwa uchambuzi wa viungo vya microzone na inaweza kutumika kuchambua muundo wa kemikali wa microzone ya madini katika karatasi nyembamba. Mbali na vipengele kadhaa nyepesi kama vile H, He, Li, Be, na vipengele vya baadaye vya U vinaweza kufanywa uchambuzi wa ubora na kiasi. Unaweza kufanya uchambuzi wa hatua, mstari, scan ya uso.

Mfano: Matokeo ya kupima usambazaji wa uso wa poda ya betri EPMA